| Номер документа в системі: | 195951 |
| Автор: | Брюэр Дж. Р., Гринич Д. С., Херриот Д. Р., Хендерсон Р. К., Балантайн Дж. П., Тротель Ж., Фэй Б. |
| Назва документа: | Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.9.048.7 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 336 с. |