| Номер документа в системі: | 196335 |
| Автор: | Черняев А. В. |
| Назва документа: | Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.382.002+621.3.049.77.002 |
| ISBN | 5-256-00740-8 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 88 с. |