Номер документа в системі: | 196352 |
Автор: | Пресс Ф. П. |
Назва документа: | Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1968 |
УДК | 621.382.002:776 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 200 с. |