| Номер документа в системі: | 196352 |
| Автор: | Пресс Ф. П. |
| Назва документа: | Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1968 |
| УДК | 621.382.002:776 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 200 с. |