| Номер документа в системі: | 196412 |
| Автор: | Янушонис С. С., Янушонене В. |
| Назва документа: | Самоформирование в полупроводниковой технологии |
| Видавництво: | Мокслас |
| Місто видання: | Вильнюс |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.382.002+621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 192 с. |