| Номер документа в системі: | 196901 |
| Автор: | Румак Н. В. |
| Назва документа: | Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах |
| Видавництво: | Наука и техника |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.3.049.77.002+621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 240 с. |