| Аннотація | Книга присвячена теоретичному й експериментальному дослідженню дії атомарного водню на параметри тонкоплівкових структур, і направлена на сприяння розвитку технології радикало-рекомбінаційної обробки поверхні твердого тіла. Розглянуті фізичні основи методів плазмохімічної, плазмоворадикаль-ної та водневої обробки поверхні твердого тіла. Описано електричні, фізичні, електрофізичні методи дослідження параметрів плівкових мікроструктур.
Розглянуто фізичні процеси, що протікають при взаємодії атомарного водню із поверхнею твердого тіла, зокрема, розпилення, стимулювання дифузійних процесів в приповерхневих шарах, дефектоутворення і модифікація поверхні, підкладинки, зміну структури металевих плівок. Наведено результати експериментального дослідження взаємодії атомарного водню з гетероструктура-ми на основі тонких плівок Си, №, Ag, Аи, Іп.
Для наукових робітників, технологів, аспірантів, магістрів, які спеціалізуються в області в області мікро та наноелектроніки.
ПЕРЕДМОВА…8
ВСТУП…9
Частина І ФІЗИЧНІ |