| Номер документа в системі: | 197587 |
| Автор: | Луфт Б. Д., Перевощиков В. А., Возмилова Л. Н., Свердлин И. А., Марин К. Г. |
| Назва документа: | Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.382.002+621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 137 с. |