| Номер документа в системі: | 197601 |
| Автор: | Файнштейн С. М. |
| Назва документа: | Роль состояния поверхности в производстве полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | Госэнергоиздат |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1961 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 110 с. |