Номер документа в системі: | 197602 |
Автор: | Файнштейн С. М. |
Назва документа: | Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1970 |
УДК | 621.382.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 296 с. |