| Номер документа в системі: | 197644 |
| Автор: | Гук Е. Г., Ельцов А. В., Шуман В. Б., Юрре Т. А. |
| Назва документа: | Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 118 с. |