| Номер документа в системі: | 197711 |
| Назва документа: | Фото-, электроно-, рентгено-, и лазерная литография в производстве интегральных микросхем |
| Видавництво: | ЦНИИ Электроника |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1976 |
| УДК | 621.3.049.77.002:776+016:621.3.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 83 с. |