| Номер документа в системі: | 198596 |
| Автор: | Черняев В.Н., Кожитов Л.В. |
| Назва документа: | Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1974 |
| УДК | 621.315.592:54+621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 232 с. |