| Номер документа в системі: | 199333 |
| Автор: | Грибов Б. Г., Домрачев Г. А., Жук Б. В., Каверин Б. С. |
| Назва документа: | Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1981 |
| УДК | 621.793.164.002.3:661.78 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.793 |
| Кількість сторінок | 322 с. |