| Номер документа в системі: | 200317 |
| Автор: | Бобыль А. В., Варенко Г. Д., Евдокимов С. А. |
| Назва документа: | Оптические методы диагностики полупроводниковых структур на основе соединений А3В5 |
| Видавництво: | ЦНИИ"Электроника" |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.315.592.2:53.082.5 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315(ои) |
| Кількість сторінок | 60 с. |