| Номер документа в системі: | 204870 |
| Автор: | Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии |
| Назва документа: | Чистые помещения |
| Видавництво: | Мир |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.77.002:628.5 |
| ISBN | 5-03-000363-0 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 628 |
| Кількість сторінок | 454 с. |