| Номер документа в системі: | 205352 |
| Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
| Назва документа: | Методичні вказівки до лабораторних робіт з дисципліни "Технологія виробництва напівпровідникових матеріалів" |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 2012 |
| УДК | 621.382.002(076) |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Аннотація | №4399 зам.372 |
| Кількість сторінок | 62 с. |