| Номер документа в системі: | 205941 |
| Автор: | Палатник Л. С., Сорокин В. К. |
| Назва документа: | Основы пленочного полупроводникового материаловедения |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 621.315.592-416:53 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 295 с. |