| Номер документа в системі: | 206215 |
| Автор: | Панкратов Е. М. |
| Назва документа: | Технология полупроводниковых слоев двуокиси олова |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1969 |
| УДК | 621.315.592.002+669.6 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315.5 |
| Кількість сторінок | 56 с. |