| Номер документа в системі: | 206398 |
| Автор: | Панфилов Ю. В., Рябов В. Т., Цветков Ю. Б. |
| Назва документа: | Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.3.049.77.002.5-52(07)+621.865.8:621.3(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 320 с. |