Номер документа в системі: | 210110 |
Автор: | Джафаров Т. Д. |
Назва документа: | Радиационно-стимулированная диффузия в полупроводниках |
Видавництво: | Энергоатомиздат |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1991 |
УДК | 537.311.322:539.1.04 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 537 |
Кількість сторінок | 287 с. |