| Номер документа в системі: | 211129 |
| Назва документа: | Получения и свойства тонких пленок |
| Видавництво: | Наукова думка |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 539.216.2(06)+621.3.049.77.002(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.2 |
| Кількість сторінок | 132 с. |