| Номер документа в системі: | 211284 |
| Автор: | Риссел Х., Руге И. |
| Назва документа: | Ионная имплантация |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 539.2:539.1.04+621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.2 |
| Кількість сторінок | 360 с. |