| Номер документа в системі: | 211440 |
| Автор: | Фрейк Д. М., Галущак М. А., Межиловская Л. И. |
| Назва документа: | Физика и технология полупроводниковых пленок |
| Видавництво: | Вища школа |
| Місто видання: | Львов |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 539.23+539.216.2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.23 |
| Кількість сторінок | 152 с. |