| Номер документа в системі: | 218091 |
| Автор: | Таруи Я. |
| Назва документа: | Основы технологии сверхбольших интегральных схем |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.3.049.77.14.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 480 с. |