| Номер документа в системі: | 218921 |
| Автор: | Чехович Е. К. |
| Назва документа: | Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники |
| Видавництво: | Наука и техника |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1989 |
| УДК | 621.3.049.77.002:658.562.6.011.56 |
| ISBN | 5-343-00087-8 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 213 с. |