| Номер документа в системі: | 220099 |
| Автор: | Реньян В. Р. |
| Назва документа: | Технология полупроводникового кремния |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1969 |
| УДК | 669.782+621.315.552.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 669.782 |
| Кількість сторінок | 335 с. |