| Номер документа в системі: | 220107 |
| Автор: | Аксёнов И. И., Андреев А. А., Белоус В. А., Стрельницкий В. Е., Хороших В. М. |
| Назва документа: | Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование |
| Видавництво: | Наукова думка |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 2012 |
| УДК | 537.52 |
| ISBN | 978-966-00-1134-2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 537 |
| Аннотація | В монографии приведены основные результаты многолетних исследований и разработок Харьковского физико-технического института HAH Украины в области вакуумно-дуговых ионно-плазменных процессов осаждения покрытий и поверхностного модифицирования материалов.Описаны методы формирования потоков металлической плазмы, генерируемой катодными пятнами дугового разряда в вакууме и газовой среде низкого давления. Рассмотрены процессы в межэлектродной плазме, способы зажигания и стабилизации разряда в технологическихплазменных источниках, физика и техника формирования потоков плазмы с заданными параметрами. Приведены данные об исследованиях синтеза микро- и наноструктурированных композиционных и многослойных покрытий, а также обширный экспериментальный и теоретический материал по физике и технике вакуумно-дугового синтеза тонких и сверхтонких пленок алмазоподобного углерода, примеры коммерческого использования вакуумно-дуговых методов осаждения алмазоподобных покрытий. Рассмотрены потенциальные возможности расширени |
| Кількість сторінок | 728 с. |