| Номер документа в системі: | 220138 |
| Автор: | Румак Н. В., Хатько В. В. |
| Назва документа: | Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике |
| Видавництво: | Навука и тэхніка |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.774.002.3 |
| ISBN | 5-343-00540-3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 191 с. |