| Аннотація | Викладено основи сучасних технологій отримання напівпровідникових матеріалів. Розглянуто класифікацію чистих і надчистих речовин та основи процесів розділення та очищення матеріалів. Висвітлено основні процеси в гетерогенних хіміко-технологічних системах та фізико-хімічні основи процесів тверднення. Розглянуто питання технології отримання полікристалічних та монокристалічних напівпровідникових матеріалів. Проаналізовано розподіл домішок за методами спрямованої кристалізації. Окремий розділ присвячено основам напівпровідникових нанотехнологій.
Призначений для студентів технічних спеціальностей вищих навчальних закладів, які спеціалізуються в галузі напівпровідникового матеріалознавства та електроніки. Може бути рекомендований аспірантам і викладачам.
ПЕРЕДМОВА…3
ВСТУП…7
Розділ 1. ЧИСТІ ТА НАДЧИСТІ РЕЧОВИНИ …9
1.1.Загальна характеристика речовин високої чистоти…9
1.2.Класифікація речовин високої чистоти…11
Розділ 2. ОСНОВИ ПРОЦЕСІВ РОЗДІЛЕННЯ ТА ОЧИЩЕННЯ МАТЕРІАЛІВ …15
2.1.Класифікація і загальн |