Номер документа в системі: | 224614 |
Назва документа: | Процессы синтеза и роста кристаллов и пленок полупроводниковых материалов |
Видавництво: | Наука Сибирск. отделение |
Місто видання: | Новосибирск |
Рік видання: | 1971 |
УДК | 621.315.592.002(06)+548.52+539.23(06) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315.5 |
Кількість сторінок | 312 с. |