| Номер документа в системі: | 224625 |
| Назва документа: | Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Новосибирск |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.315.592.002(06) |
| ISBN | 5-02-028671-0 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 199 с. |