| Номер документа в системі: | 224636 |
| Автор: | Степанов А. Е., Кириллова Л. Г. |
| Назва документа: | Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | Наукова думка |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.315.592.002 |
| ISBN | 5-12-009333-7 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 184 с. |