| Номер документа в системі: | 225023 |
| Автор: | Шнаревич Е. И., Рыбинский О. А., Злобин В. А. |
| Назва документа: | Диэлектрики интегральных схем |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.315.61+621.3.049.77.002.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 120 с. |