Номер документа в системі: | 225315 |
Назва документа: | Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике |
Видавництво: | Воронеж. ун-т |
Місто видання: | Всронеж |
Рік видання: | 1989 |
УДК | 621.315.592:541.1(06)+621.3.049.77(06) |
ISBN | 5-7455-0135 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315.592 |
Кількість сторінок | 196 с. |