| Номер документа в системі: | 231631 |
| Автор: | Федоров Л. П., Багров В. М., Тихонов Ю. Н. |
| Назва документа: | Производство полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 432 с. |