| Номер документа в системі: | 231854 |
| Назва документа: | Полупроводниковые пленки для микроэлектроники |
| Видавництво: | Наука, Сиб. отд-ние |
| Місто видання: | Новосибирск |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 539.23+621.049.772 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.2 |
| Кількість сторінок | 248 с. |