| Номер документа в системі: | 232079 |
| Назва документа: | Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов |
| Видавництво: | Штиинца |
| Місто видання: | Кишинев |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.382.002:658.5.011.56(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 142 с. |