Номер документа в системі: | 232328 |
Автор: | Гранков И. В., Гуревич В. М., Демин Л. Н., Юшков Ю. В. |
Назва документа: | Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана |
Видавництво: | Цветметинформация |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1976 |
УДК | 661.68+669.782 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 66 |
Кількість сторінок | 52 с. |