| Номер документа в системі: | 232788 |
| Автор: | Попов В. К., Ячменев С. Н. |
| Назва документа: | Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.38.002:776+621.38.002:776+621.3.049.77.002:776 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 128 с. |