| Номер документа в системі: | 232789 |
| Автор: | Попов В. К., Ячменев С. Н. |
| Назва документа: | Электронная литография (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1985) |
| Видавництво: | ЦНИИ"Электроника" |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.3.049.77.002:776 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3(оп) |
| Кількість сторінок | 51 с. |