Номер документа в системі: | 235144 |
Автор: | Скринський П. Л., Кузьмичев А. І., Іващенко В. І., Іващенко Л. А., Тимофєєва І. І., Бутенко О. О., Хижун О. Ю., Томіла Т. В., Дуб С. Н. |
Назва документа: | Структурні та механічні властивості TiN/BCN-покриттів |
УДК | 621.723+620.18+620.178 |
Мова документу | Українська |
Кількість сторінок | С. 95-106. |