| Номер документа в системі: | 236254 |
| Автор: | Матюшин В. М., Жавжаров Є. Л., Критська Т. В. |
| Назва документа: | Експериментальне дослідження впливу атомарного водню на електрофізичні параметри кремнію |
| УДК | 539.229.3 |
| ББК | М і НПП(1,2) |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | Ч21 |
| Кількість сторінок | С. 224-225. |