| Номер документа в системі: | 238321 |
| Автор: | Рисіков В. П., Роговська К. О. |
| Назва документа: | Алгоритми статистичного регулювання технологічним процесом виробництва інтегральних мікросхем |
| УДК | 681.3.01 |
| ББК | ПЗ(1), Ст.(2) |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | Ч21 |
| Кількість сторінок | С. 352-354. |