Номер документа в системі: | 238692 |
Назва документа: | Применение лазерной интерферометрии для контроля технологии изделий электронной техники |
Видавництво: | ЦНИИ"Электроника" |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1987 |
УДК | 621.38.002:658.562 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.38(оп) |
Кількість сторінок | 56 с. |