| Номер документа в системі: | 238793 |
| Назва документа: | Применение плазменной и плазмохимической технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | ИНФОРМЭЛЕКТРО |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.382.002.2:533.9 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38(оп) |
| Кількість сторінок | 71 с. |