| Номер документа в системі: | 239452 |
| Автор: | Природный В. |
| Назва документа: | Эволюция технологии микроэлектроники (союз микроэлектроники и микромеханики) |
| Видавництво: | Знание |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.3049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 64 с. |