| Номер документа в системі: | 239883 |
| Автор: | Кіпріч В. І., Кузіна В. М., Онікієнко Т. М. |
| Назва документа: | Математичне моделювання росту плівки, що напилюється, складеним пучком кластер-атом |
| УДК | 620.193+6.533.924 |
| ББК | СА та ОМ |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | Ч21 |
| Кількість сторінок | С. 361-362. |