| Номер документа в системі: | 244201 |
| Автор: | Сергеев А., Анненков А. Н. |
| Назва документа: | Протонное модифицирование оксидов и оксидных пленок |
| Видавництво: | ЦНИИЭлектроника |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.315.592.4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315(оп) |
| Кількість сторінок | 55 с. |