| Номер документа в системі: | 244202 |
| Назва документа: | Протонные процессы в оксидных слоях и пленках |
| Видавництво: | ЦНИИ"Электроника" |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.315.592.4+539.216.2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315(оп) |
| Кількість сторінок | 62 с. |