| Номер документа в системі: | 245359 |
| Автор: | Пузырев В. А. |
| Назва документа: | Управление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.3.049.77.002:658.5.012 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 160 с. |